HTRB-, HTGB- und H3TRB-Prüfsysteme für Leistungshalbleiter

Unsere HTRB-Prüfsysteme prüfen die langfristige Zuverlässigkeit von Leistungshalbleitern unter extremen Bedingungen — hohe Temperatur, hohe Spannung, Feuchtigkeit. Die Systeme laufen autonom über 1.000 Stunden und mehr, überwachen jeden Prüfling einzeln und dokumentieren den gesamten Testverlauf. Drei Testverfahren decken dabei unterschiedliche Schwachstellen auf.

HTRB — Sperrspannung unter Dauerbelastung

Der Prüfling wird bei 150 – 230 °C mit seiner maximalen Sperrspannung belastet. Über 1.000 Stunden zeigt sich, ob die Sperrschicht stabil bleibt oder ob Leckströme ansteigen. Typische Schwachstellen: Verunreinigungen an der Chipoberfläche, Defekte im Randabschluss und Alterung der Passivierung. Unser System misst den Sperrstrom jedes einzelnen Kanals kontinuierlich — Auffälligkeiten werden sofort erkannt.

HTGB — Gate-Oxid unter Stress

Hier wird nicht die Sperrspannung geprüft, sondern das Gate-Oxid: maximale Gate-Spannung bei maximaler Temperatur. Der Test zeigt, ob sich die Einschaltschwelle des Bauteils über die Zeit verschiebt. Besonders bei SiC-Bauteilen ist dieser Test entscheidend — die Grenzfläche zwischen SiC und Gate-Oxid ist empfindlicher als bei Silizium und reagiert stärker auf Dauerstress.

Mit unabhängigen Gate-Spannungsquellen pro Kanal können Sie HTRB und HTGB auf derselben Plattform fahren — ohne Hardware-Umbau zwischen den Tests.

H3TRB — Feuchtigkeit als Stressfaktor

Der Prüfling wird bei 85 °C und 85 % relativer Luftfeuchtigkeit mit Sperrspannung belastet. Die Kombination aus Wärme, Feuchtigkeit und elektrischem Feld kann über Monate zu Korrosion und Kurzschlüssen im Inneren des Bauteils führen — Fehlermechanismen, die in trockener Laborumgebung nie auftreten.

Gebaut für den Dauerbetrieb

Schuster Elektronik baut seit Jahrzehnten Prüfsysteme für die Halbleiterqualifizierung — für Modulhersteller, Zulieferer und Prüflabore in Europa, Nordamerika und Asien. Unsere Systeme sind auf wochenlangen autonomen Betrieb ausgelegt:

• Prüfspannung bis ±2.000 V (Si, SiC, GaN)
• 18 Einzelprüflinge oder 9 Halbbrücken-Module pro Station
• Sperrstrommessung bis 300 mA pro Kanal
• Temperaturmessung bis 200 °C direkt am Prüfling
• Modular erweiterbar auf über 10 Stationen
• Automatische Grenzwertüberwachung mit sofortiger Abschaltung
• Netzwerk-Schnittstelle für Fernüberwachung und Datenexport
• Konform mit gängigen Qualifizierungsstandards (AQG 324, AEC-Q101, JEDEC)